半導體車間用一種遠程粒子計數器監測裝置

在半導體器件晶圓的制造過程中，其易受外來物、灰塵粒子、金屬離子等外來物的影響而破壞表面結構、電子特性等的產品特點決定了其制造過程必須有潔凈度的要求，而經過長期的實踐分析，我們發現在半導體晶圓測試的過程中，測試間也必須置于潔凈室中，潔凈度的控制也同樣重要。潔凈室的潔凈度控制不好時，會導致空氣中的含塵量過高，從而導致外來物的增加，進而影響測試時的良率和穩定性甚至會導致探針測試卡的損壞。

潔凈室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

粒子計數器由顯微鏡發展而來，經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、激光空氣粒子計數器、PCS納米激光空氣粒子計數器的過程，其中因激光空氣粒子計數器測試速度快、動態分布寬、不受人為影響等各方面的優勢，而成為很多行業的主流產品。深圳賽納威就是一家專業從事環境檢測儀器及環境監測治理系統開發和制造的高科技企業，擁有由留美博士、碩士和光機電及軟件工程師組成的一流研發團隊，公司早期開發的凈化車間專用塵埃粒子計數器系列產品和氣體檢測儀器系列產品已經在國內外市場上占據了較高的市場份額，幫助大量用戶實現了“高效便捷”的工作目標，并一直在努力為客戶創造長期價值。

半導體車間用在線式遠程粒子計數器產品介紹

遠程在線式遙測激光塵埃粒子計數器是幾乎每個精密電子車間必不可少的設備，如果在我們的半導體車間中有這樣一種監測顆粒濃度的儀器，那么我們在辦公室時就可以輕松了解車間中塵埃粒子情況，實現產品生產與監督智造的智能體驗。例如，當我們檢測到車間內的顆粒濃度過高時，我們可以及時通知相應車間的負責人，并采取針對性的措施降低顆粒濃度，以達到安全可靠的標準，這非常有利于產品的安全生產，為客戶提供可靠的高質量產品。

遠程粒子計數器可用于檢測塵埃粒子。其實每個粒子產生的散射光強度都很弱，是一個很小的光脈沖。光脈沖需要通過光電轉換器的放大轉換成信號幅度較大的電脈沖，再通過電子電路進一步放大和判別，從而完成大量電脈沖的計數。此時，電脈沖的數量對應于粒子的數量，電脈沖的幅度對應于粒子的大小。

CW-RPC系列遠程遙測激光塵埃粒子計數器是智能多點凈化檢測系統的終端設備，不僅可以為用戶提供實時準確地遠程測量所監控環境的微粒數量和凈化等級，根據不同需要增加或減少控制終端，還可以實現7*24實時遠程自動監測，通過RJ45網絡接口、WiFi、485（moudbus）等，將數據送給PC終端，顯示當前監測環境的潔凈狀況。該粒子計數器按照國際標準ISO14644-1,GMP和日本工業標準（JIS）要求標定，專業應用于電子行業、制藥車間、半導體、光學或精密機械加工等潔凈室環境自動監測系統。

半導體車間用在線式遠程粒子計數器公司簡介

深圳賽納威是一家專業從事環境檢測儀器及環境監測治理系統開發和制造的高科技企業，擁有由留美博士、碩士和光機電及軟件工程師組成的一流研發團隊，公司早期由數位無塵車間行業內專家擔當顧問，由多名資深內業潔凈間環境研發人員組建研發團隊，獨立研發了具備自主知識產權的多通道遠程遙測激光塵埃粒子計數器及遠程監控系統，在質量監督所等權威檢驗機構、超大規模集成電路超凈車間（室），電子行業、醫療衛生、食品加工、光學或精密機械等生產企業和航空航天等科研部門，我們提供無塵車間環境檢測服務，并堅持在日常經營中，不斷完善產品體系、服務體系、工程體系，還將在與客戶的共同成長中在各個方面取得進步。

賽納威運營至今，得到眾多客戶的一致好評，表明了賽納威遵循“求實創新，用戶至上”的企業宗旨、聚焦和滿足客戶的需求、提供極具競爭力的優質空氣檢測及治理產品和售后服務是完全正確的。賽納威不僅愿為中國高端半導體潔凈室產業健康穩定發展提供源源不斷的技術理念支持，也愿與全球領先的廠商合作共贏，幫助用戶實現“高效便捷”的工作目標，努力為客戶創造長期價值。

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半導體車間用在線式遠程粒子計數器潔凈室介紹

潔凈室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。

一般在潔凈室是有等級的，采用多種工序操作時，應根據各工序不同的要求，采用不同的空氣潔凈度等級，依據工序要求確定等級。醫藥工業藥生產工序的潔凈級別和潔凈區的劃分，應參照《藥品生產質量管理規范》中制劑和原料藥工藝內容及環境區域劃分而定。藥品生產潔凈室的空氣潔凈度劃分為四個等級。在滿足生產工藝要求的前提下，首先應采用低潔凈等級的潔凈濕或局部空氣凈化；其次可采用局部工作區域空氣凈化和第等級全市空氣凈化相結合或采用全面空氣凈化。對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內大于等于5微米塵粒的計算應進行多次采樣。當其多次出現時，方可認為該測試數值是可靠的。

半導體車間用在線式遠程粒子計數器黃光區操作須知

1、濕度及溫度會影響對準工作，在黃光區應注意溫度及濕度，并應減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。

2、上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區以免感光。

3、已上妥光阻，而在等待對準曝光之芯片，應放置于不透明之藍黑色晶盒之內，盒蓋必須蓋妥。

4、光罩使用時應持取邊緣，不得觸及光罩面，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷。

5、曝光時，應避免用眼睛直視曝光機汞燈。

半導體車間用在線式遠程粒子計數器鑷子的使用須知

1、進入實驗室后，應先戴上手套后，再取鑷子，以免沾污。 

2、唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，必須拿去清洗，方可再使用。

半導體車間用在線式遠程粒子計數器具體的工作原理

粒子計數器是利用光的散射原理進行塵粒計數來測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器。光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關。但是就散射光強度和微粒大小而言，有一個基本規律，就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣一定流量的含塵氣體通過一束強光，使粒子發射出散射光，經過聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變為電脈沖，由脈沖數求得顆粒數。根據粒子散射光的強度與粒徑的函數關系得出粒子直徑。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小，就是光散射式粒子計數器的基本原理。

此外粒子計數器由顯微鏡發展而來，經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、激光空氣粒子計數器、凝結核粒子計數器、多通道多功能粒子計數器等過程。它是國家規定的計量器具，在使用一段時間后，其光學系統及檢測系統都會發生變化，如光源老化、發光效率降低或聚焦錯位、透鏡被污染，從而使整機的轉換靈敏度變化。因此需按JJF1190-2008《塵埃粒子計數器校準規范》的要求每年定期到環境檢測中心進行定期校準，并根據其出具法定校準證書對儀器各方面進行調整以獲得最佳工作狀態。